Nano Indenter G200是一套完整的納米力學(xué)顯微探針系統(tǒng)，其功能包括了納米壓痕、納米劃痕以及納米力學(xué)顯微鏡等。整個測試流程都是全自動的，這樣就提高了測試數(shù)據(jù)的可靠性和可重復(fù)性。

G200主要特性與技術(shù)指標(biāo)

   符合 ISO 14577 標(biāo)準(zhǔn)的測量結(jié)果

   具有更大動態(tài)范圍的電磁驅(qū)動器

   具有靈活性，以及針對可重復(fù)使用或全新應(yīng)用的可升級能力

   通過壓痕深度處的連續(xù)剛度測量，實現(xiàn)動態(tài)特性表征

   實時控制、簡便的協(xié)議開發(fā)和漂移補償

優(yōu)勢

   精確的測量結(jié)果，高度的再現(xiàn)性，完全符合IS014577國際標(biāo)準(zhǔn)，GB／T 22458-2008國家標(biāo)準(zhǔn)。

   載荷和位移的動態(tài)測量范圍在同類產(chǎn)品中首屈一指

   利用連續(xù)剛度測量技術(shù)對壓入深度方向的動態(tài)力學(xué)性能進(jìn)行精確的表征

應(yīng)用

  半導(dǎo)體材料

  薄膜材料

  微機電系統(tǒng)

  硬質(zhì)涂層

  DLC膜

  生物材料

Nano Indenter G300配備支持試樣直徑最大為12英寸的樣品臺,可對各種不同尺寸晶圓片直接進(jìn)行力學(xué)性能檢測，不需要破壞晶圓片就可以獲得上面任意位置的力學(xué)性能，整個實驗過程全自動控制，避免了可能的人為因素的影響，確保每個測試都是合理、一致、精確。

優(yōu)勢

   配有大樣品臺，最大樣品直徑可達(dá)300毫米

  全自動控制，避免人為因素影響測試結(jié)果

  應(yīng)用范圍廣泛，升級方便

  利用連續(xù)剛度測量技術(shù)對壓入深度方向的動態(tài)力學(xué)性能進(jìn)行精確的表征

  精確的測量結(jié)果，高度的再現(xiàn)性，完全符合IS014577國際標(biāo)準(zhǔn)，GB／T 22458-2008國家標(biāo)準(zhǔn)。

應(yīng)用

  半導(dǎo)體材料

  微機電系統(tǒng)

  薄膜材料

  復(fù)合材料

  金屬材料

  陶瓷制品